真空脫氣機的工作原理是將水循環系統中的一部分液體置于真空的環境下，此時液體中的游離態氣體及溶解態氣體就會釋出。之后，這部分已經過脫氣處理的、具有吸收性的液體將被注回水循環系統中參加循環。它們會重新吸收系統中的游離態氣體和溶解態氣體，以再次達到平衡。經過多次這樣的過程之后，水循環系統中的游離態氣體及溶解態氣體就都被去除了。
真空脫氣機的脫氣原理是基于亨利定律的工作原理，利用氣體在水中溶解度與水溫和壓力相關，在一定溫度下，氣體在水中的溶解度成壓力正比。在一定的壓力下，水溫降低，氣體溶解度增加，水溫升高，氣體溶解度降低。真空脫氣機是通過產生真空，將水中的游離氣體和溶解氣體釋放出來，再通過自動排氣閥排出系統，脫氣后的水再注入系統。這些低含氣量的水是不飽和水，對氣體具有高度的吸收性，它將吸收系統中的氣體從而達到氣水平衡。真空脫氣機每20~30秒重復一次這樣的循環。如此循環往復，將系統中的所有氣體脫除
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